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非接(jie)觸式輪(lun)廓(kuo)儀優點就(jiu)是測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)裝置探測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)部(bu)分不與被測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)表面的(de)直接(jie)接(jie)觸，保護了測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)裝置，同時避(bi)免了與測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)裝置直接(jie)接(jie)觸引入的(de)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)誤差。 Zeta-20三維光學輪(lun)廓(kuo)儀集成了六種光學計量(liang)技(ji)術(shu)。 ZDot 測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)模式同時采(cai)集高分辨率 3D 掃描和真(zhen)彩色無限對(dui)焦圖像。其他測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)技(ji)術(shu)包括白光干(gan)涉法、Nomarski 干(gan)涉對(dui)比顯微鏡和剪切干(gan)涉法。 Zeta-20 也可用于樣品審(shen)查(cha)或自動缺(que)陷(xian)檢測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)。

Profilm 3D是一(yi)款兼具垂(chui)直(zhi)掃(sao)描干涉(she) (VSI)和高(gao)精(jing)確度相移干涉(she) (PSI) 技術的經濟三維光學輪廓儀，其可(ke)以用于多(duo)種用途的高(gao)精(jing)度表面測(ce)量。我(wo)司(si)有此(ci)機器可(ke)測(ce)樣。

從產品(pin)研發到質(zhi)量控制，該系統可以用于從超光滑鏡(jing)面到粗(cu)糙(cao)面的各種樣品(pin)進行(xing)表面微觀測量分析和(he)粗(cu)糙(cao)度(du)質(zhi)量評(ping)價。白光干涉原(yuan)理。

P-170是cassette-to-cassette探針(zhen)式輪廓儀，將P-17臺式系(xi)(xi)統(tong)的測(ce)量性能(neng)和(he)經過(guo)生產驗證(zheng)的HRP®-260的機械傳送臂(bei)相(xiang)結合。 這樣的組合為機械傳送臂(bei)系(xi)(xi)統(tong)提(ti)供了低成(cheng)本，適用于半導體(ti)，化合物半導體(ti)和(he)相(xiang)關行業。 P-170全自動晶圓探針(zhen)式輪廓儀/臺階儀可以對臺階高度、粗糙(cao)度、翹曲度和(he)應(ying)力進行2D和(he)3D測(ce)量，其掃描可達200mm而(er)無(wu)需圖像拼接(jie)。

自動晶圓探針式輪廓儀(yi)/臺(tai)階儀(yi)P17。該(gai)系(xi)統(tong)支持(chi)對臺(tai)階高(gao)度、粗(cu)糙度、翹曲度和(he)應(ying)力2D和(he)3D測量，掃(sao)描可達(da)200mm無需圖像拼接。結(jie)合UltraLite®傳感(gan)器、恒力控制和(he)超平掃(sao)描平臺(tai)，有(you)出色測量穩定(ding)性。