Profilm 3D是一(yi)款兼具垂直掃描干涉 (VSI)和高精確度相(xiang)移干涉 (PSI) 技術的經濟(ji)型光學(xue)輪廓儀，其可以用于多種用途的高精度(du)表面測量。

Profilm 3D光學(xue)輪廓儀具有以下優點：

?   價格(ge)優勢：市(shi)場(chang)上具(ju)性價比(bi)的白光干涉輪廓儀(yi)，具(ju)有價格(ge)優勢的高精(jing)度輪廓儀(yi)。

?   快速測量大面(mian)(mian)積(ji)區(qu)域(yu)：測量范(fan)圍為毫(hao)米(mi)級別，配置XY樣(yang)品臺達100mm*100mm，可(ke)實現大面(mian)(mian)積(ji)樣(yang)品的輕松測量；

?   簡單易用：只需將樣品(pin)放置于樣品(pin)臺上，即可直(zhi)接進行測(ce)量；

?   可(ke)以測量(liang)非(fei)接(jie)觸式(shi)(shi)非(fei)平(ping)坦(tan)樣品：由于光(guang)學輪廓(kuo)(kuo)測量(liang)法(fa)是一(yi)種(zhong)非(fei)接(jie)觸式(shi)(shi)技(ji)術，可(ke)以輕松(song)測量(liang)彎曲和其他(ta)非(fei)平(ping)面(mian)(mian)表(biao)面(mian)(mian)。還(huan)輕松(song)地測量(liang)曲面(mian)(mian)的(de)表(biao)面(mian)(mian)光(guang)潔度，紋理(li)和粗(cu)糙度。除此(ci)之外(wai)，作為一(yi)種(zhong)非(fei)接(jie)觸式(shi)(shi)方法(fa)光(guang)學輪廓(kuo)(kuo)儀(yi)不會像探針式(shi)(shi)輪廓(kuo)(kuo)儀(yi)那(nei)樣損壞柔軟的(de)薄膜。

?   無需(xu)更換(huan)耗材：只需(xu)要一個(ge)LED光源，無需(xu)其他配件更換(huan)；

?   可視(shi)化3D功(gong)能：Profilm 3D輪(lun)廓儀具有(you)強(qiang)大的處(chu)理軟(ruan)件(jian)，軟(ruan)件(jian)除包括表面(mian)粗糙度(du)(du)，形狀和(he)臺階(jie)高度(du)(du)的測量(liang)外，還可以任意角度(du)(du)移動樣品量(liang)測三維圖形，多(duo)角度(du)(du)分析樣品圖像(xiang)。

適(shi)用于各類樣品(pin)：Profilm 3D輪廓(kuo)儀適(shi)用于各類金屬、非晶硅和多晶硅、陶瓷材料、電介質、硬質涂層、高(gao)分(fen)子聚合物、光刻膠(jiao)等的表面輪廓(kuo)及(ji)粗糙度等測量。

    ? ProfilmOnline 在線免(mian)費(fei)網絡分析

 在線分析鏈接：

 ProfilmOnline 可存儲、共享(xiang)、查看與分析(xi)來自您的(de)光學輪(lun)廓儀(yi)或3D顯微鏡之3D影像(xiang)(xiang)。任何臺(tai)式電(dian)腦，平板電(dian)腦或智能手(shou)機上都能查看和(he)操作。享(xiang)受全面的(de)圖像(xiang)(xiang)分析(xi)功能，包括表(biao)面輪(lun)廓（粗糙度）和(he)階高分析(xi)。

Profilm 3D光學輪廓儀(yi)功能：

?   用于測(ce)量粗糙(cao)度

使用Profilm 3D輪廓儀可(ke)以(yi)以(yi)秒為(wei)單位(wei)測(ce)量表面(mian)紋(wen)理，光潔度(du)和(he)(he)粗(cu)糙度(du)，只需(xu)單擊鼠標即可(ke)完成。Profilm3D采用白(bai)光干(gan)涉測(ce)量（WLI）和(he)(he)相移干(gan)涉測(ce)量（PSI）等行業(ye)標準技術，可(ke)快速測(ce)量大面(mian)積2D區域的粗(cu)糙度(du)和(he)(he)紋(wen)理，無需(xu)接觸樣(yang)品(pin)。

?   測量曲面(mian)樣品

由(you)于Profilm 3D是一種非接觸式技術，因此可(ke)(ke)以(yi)輕(qing)松測量彎曲和其他非平面表面。另(ling)外在測量方(fang)法(fa)中添加形狀去(qu)除（也(ye)稱為形狀去(qu)除）和過濾(lv)，即(ji)可(ke)(ke)輕(qing)松實現表面光潔度(du)，紋理和粗糙度(du)的測量！

?   任何(he)粗糙度參數標準(zhun)

Profilm 3D擁有47個ASME / EUR / ISO粗(cu)糙度(du)參數標(biao)準(zhun)。可以在結(jie)果中(zhong)顯(xian)示其中(zhong)的任何一個或全部，從而使自定義報告變得(de)輕而易舉。符(fu)合ISO 9000和(he)ASME B46.1標(biao)準(zhun)，ISO現在*支持測量(liang)表面粗(cu)糙度(du)的光學方(fang)法。特(te)別是，ISO 25178第604部分描述了(le)Profilm3D的WLI方(fang)法（其中(zhong)也稱為相干掃(sao)描干涉測量(liang)法）。

二、主要功能

  主要應用(yong)

臺階(jie)高度

表(biao)面粗(cu)糙(cao)度

線寬及輪(lun)廓

  技術(shu)能力

厚度范圍，VSI  50nm-100mm

厚度(du)范圍，PSI  0-3 µm

樣品(pin)反射率范圍 0.05%-100%

Piezo范圍 500 µm

XY平臺(tai)范圍100mm x 100mm

三(san)、應用

臺階高(gao)度(du)、表(biao)面(mian)形貌、表(biao)面(mian)粗糙度(du)、大面(mian)積拼接等