經濟三維光學輪廓儀Profilm 3D光學輪廓(kuo)儀具(ju)有以下優點：

   ?   價格(ge)優勢：市場上具(ju)性價比(bi)的(de)白光干涉(she)輪廓(kuo)儀，具(ju)有價格(ge)優勢的(de)高精度(du)輪廓(kuo)儀。

   ?   快速測(ce)(ce)量大(da)面(mian)積區域：測(ce)(ce)量范(fan)圍為毫米級別，配置XY樣(yang)品(pin)臺達100mm*100mm，可實現(xian)大(da)面(mian)積樣(yang)品(pin)的輕松測(ce)(ce)量；

   ?   簡單易用：只需將樣品(pin)放置(zhi)于樣品(pin)臺上，即可直接進行測量；

   ?   可以(yi)測(ce)量(liang)非(fei)(fei)接(jie)觸(chu)式(shi)非(fei)(fei)平坦樣品：由于光(guang)學(xue)(xue)輪(lun)廓(kuo)測(ce)量(liang)法(fa)是(shi)一種(zhong)非(fei)(fei)接(jie)觸(chu)式(shi)技術，可以(yi)輕松測(ce)量(liang)彎曲(qu)和其他非(fei)(fei)平面(mian)表(biao)面(mian)。還輕松地(di)測(ce)量(liang)曲(qu)面(mian)的(de)表(biao)面(mian)光(guang)潔度，紋理和粗糙度。除此之(zhi)外，作為一種(zhong)非(fei)(fei)接(jie)觸(chu)式(shi)方法(fa)光(guang)學(xue)(xue)輪(lun)廓(kuo)儀(yi)不會像探(tan)針式(shi)輪(lun)廓(kuo)儀(yi)那樣損壞(huai)柔軟(ruan)的(de)薄膜。

   ?   無需(xu)更(geng)換(huan)耗材：只需(xu)要一個(ge)LED光源，無需(xu)其(qi)他配(pei)件(jian)更(geng)換(huan)；

   ?   可視化(hua)3D功能：Profilm 3D輪廓儀具有強(qiang)大的處理軟件，軟件除包(bao)括表面粗糙度(du)，形狀和臺(tai)階高(gao)度(du)的測量(liang)外，還可以(yi)任意角度(du)移動樣(yang)品量(liang)測三維圖形，多角度(du)分析樣(yang)品圖像。

適用于各類樣品：Profilm 3D輪廓儀適用于各類金屬(shu)、非晶硅(gui)和多晶硅(gui)、陶(tao)瓷材料、電介質、硬質涂層、高分子聚合(he)物、光刻(ke)膠等的表面輪廓及粗(cu)糙度等測(ce)量。

Profilm 3D光學(xue)輪廓儀功能(neng)：

?   用于(yu)測(ce)量(liang)粗糙度

使用Profilm 3D經濟三維光學輪廓儀可以以秒為單位測量表面紋理，光潔度和粗糙度，只需單擊鼠標即可完成。Profilm3D采用白光干涉測量（WLI）和相移干涉測量（PSI）等行業標準技術，可快速測量大面積2D區域的粗糙度和紋理，無需接觸樣品。

?   測量曲面(mian)樣品

由于(yu)Profilm 3D是一(yi)種非接觸式技術，因此(ci)可以(yi)輕松測量(liang)彎曲和其他非平面(mian)表面(mian)。另外在測量(liang)方法中(zhong)添加形(xing)狀去除(chu)（也稱(cheng)為形(xing)狀去除(chu)）和過(guo)濾，即可輕松實(shi)現表面(mian)光(guang)潔度，紋理和粗糙(cao)度的(de)測量(liang)！

?   任何粗糙(cao)度參數標(biao)準

Profilm 3D擁(yong)有47個ASME / EUR / ISO粗糙度(du)參數標準。可以(yi)在結果中(zhong)顯示其中(zhong)的(de)(de)任何一個或(huo)全部，從而使自定義(yi)報告變得輕而易(yi)舉。符合ISO 9000和ASME B46.1標準，ISO現在*支持測(ce)量表(biao)面粗糙度(du)的(de)(de)光學方法(fa)。特別是，ISO 25178第604部分描述了Profilm3D的(de)(de)WLI方法(fa)（其中(zhong)也稱為(wei)相干(gan)掃(sao)描干(gan)涉測(ce)量法(fa)）。

二、主要功能(neng)

  主要應用

-臺階高度

-表面(mian)粗糙(cao)度

-線寬及輪廓

  技術能力

厚度范圍，VSI  50nm-100mm

厚度(du)范圍，PSI  0-3 µm

樣(yang)品反(fan)射率范圍 0.05%-100%

Piezo范圍(wei) 500 µm

XY平臺范圍100mm x 100mm

三、應用

臺階高度、表(biao)面形(xing)貌、表(biao)面粗(cu)糙度、大面積(ji)拼接等