高精度臺式納米壓痕儀

主要功能：

靜態(tai)(tai)/動態(tai)(tai)納米壓痕：楊氏模(mo)量/硬度

連續剛度(du)(du)：高準度(du)(du)薄(bo)膜測試，楊(yang)氏模量(liang)/硬度(du)(du)，<100nm

DMA功能：橡膠等(deng)粘(zhan)彈性材料存(cun)儲模量/損耗系數

劃痕測試

高(gao)溫納(na)米壓(ya)痕300℃

斷裂韌性測試

橫(heng)向(xiang)加載，泊松比測試(shi)

3D/4D 楊氏(shi)模(mo)量(liang)/硬度mapping

•考慮到靈活性，iNano允許進行(xing)廣(guang)泛的測試，包括但不(bu)限于(yu)頻率特定實(shi)驗，存儲和損耗模量(liang)，模量(liang)和硬度（Oliver和Pharr）以(yi)及恒定應變率。

•電磁執行器用于Nanomechanics生產(chan)的所有系統，包括iNano。 這些執行器是堅固的線性裝(zhuang)置，固有地解(jie)耦力(li)和位(wei)移(yi)。 它們的大(da)力(li)為(wei)50 mN，分(fen)辨率(lv)為(wei)3 nN，超低噪聲電流小于200 nN。

•iNano是時間常(chang)數為20微秒的商用納米(mi)壓痕(hen)儀，可同時滿足大壓痕(hen)行程(cheng)50μm，噪(zao)聲<0.1 nm，數字(zi)分辨率0.02 nm，漂移率<0.05nm / s的規格要求。

•為確保業內廣泛，可靠(kao)的(de)數據(ju)，iNano能夠(gou)實現0.1 Hz至1 kHz的(de)動態(tai)激勵頻率。

•樣(yang)品臺(tai)移動Z軸為(wei)25 mm，X為(wei)100 mm，Y軸為(wei)150 mm，可測(ce)試各種樣(yang)品高度(du)和(he)大樣(yang)品區(qu)。

•載荷(he)框架(jia)剛度> 1,000,000 N / m

•Jian端校準系統(tong)集成到(dao)軟件中，可實(shi)現快速，準確和(he)自動的Jian端校準。

•可用的方法包含聚(ju)合物，薄膜和生物材料的提示，方法和標準

•可用劃痕(hen)選(xuan)項(xiang)，大正常載荷為50 mN，大劃痕(hen)距離為2.5 mm，大劃痕(hen)速度為500μm/ s。

•可用的(de)遠程(cheng)視頻(pin)選件在(zai)iNano腔內提供兩個(ge)不同的(de)視角，除標準顯微(wei)鏡物鏡外還配有USB攝像頭。

使用可選的NanoBlitz拓撲和(he)斷層掃描(miao)軟件(jian)對材料進(jin)行3D和(he)4D映射。

iNano系(xi)統由具(ju)有電容(rong)傳(chuan)感(gan)器(qi)(qi)的電磁傳(chuan)感(gan)器(qi)(qi)提供(gong)動力，可對(dui)各種(zhong)(zhong)材料進行(xing)(xing)精(jing)確測(ce)量(liang)。該(gai)系(xi)統旨在(zai)提供(gong)高吞吐(tu)量(liang)和輕松的數(shu)據(ju)(ju)分析(xi)。iNano帶有多種(zhong)(zhong)標準測(ce)試(shi)協(xie)議，用戶(hu)可以(yi)(yi)輕松對(dui)其進行(xing)(xing)編程以(yi)(yi)進行(xing)(xing)新穎(ying)的測(ce)量(liang)。iNano設計產(chan)生的校準多年穩定，因此來自多個站點的多個儀器(qi)(qi)的測(ce)量(liang)數(shu)據(ju)(ju)保(bao)持一致。該(gai)系(xi)統占(zhan)地面積(ji)小，可節省實驗室空間，并符合ISO 14577以(yi)(yi)確保(bao)數(shu)據(ju)(ju)完(wan)整性。

除了能(neng)夠在大學，實驗室和研(yan)究(jiu)所進行(xing)先進的研(yan)究(jiu)外(wai)，還可以對以下(xia)材料(liao)和行(xing)業進行(xing)納米(mi)壓痕測(ce)量：

? 制造質量控制

? 半導體晶圓和封(feng)裝

? 聚合物和塑料

? MEMS /納米(mi)級設備

? 陶瓷和玻璃

? 金屬和合金

? 醫藥品

? 涂料和油漆

? 電池和能量存儲

聚合(he)物動態彈性性能的測試

描述像聚合物這(zhe)樣(yang)的粘彈性材料是阻尼和(he)(he)振動控制應用的關鍵(jian)。 納米力學公(gong)司的核心技術可以將聚合物的動態量表征為應用頻率的函數。此外，該(gai)測(ce)試可以在生產的零件上完成，并且(qie)不(bu)需(xu)要(yao)傳統(tong)DMA測(ce)試設備的大(da)體積和(he)(he)特定幾(ji)何狀(zhuang)。

Dynamic Mechanical Analysis（DMA）of Polymers by Oscillatory Indention

脆性材(cai)料的壓(ya)痕斷裂韌(ren)性

脆性(xing)(xing)材料中抗裂(lie)(lie)(lie)紋擴展(zhan)性(xing)(xing)的機械性(xing)(xing)能(neng)稱(cheng)為“斷(duan)裂(lie)(lie)(lie)韌性(xing)(xing)"。 傳統(tong)上，由于(yu)樣品制備(bei)測(ce)量該性(xing)(xing)質可能(neng)是耗時(shi)且昂(ang)貴的。使用立方角(jiao)壓(ya)頭幾何形狀的壓(ya)痕(hen)測(ce)試，通過提供(gong)快速結果(guo)和大(da)數據集來(lai)增強統(tong)計數據，從而有(you)助于(yu)測(ce)量裂(lie)(lie)(lie)縫。 此外，壓(ya)痕(hen)可以提供(gong)關于(yu)裂(lie)(lie)(lie)紋初始載荷的信息，可用于(yu)比較不同(tong)的材料加(jia)工條(tiao)件。 該技術也可以應用于(yu)硬涂層，因其沒有(you)標準的斷(duan)裂(lie)(lie)(lie)韌性(xing)(xing)幾何形狀。

高溫測試壓頭的Jian端材料
Nanomechanics在鉬支架(jia)上提(ti)供單晶(jing)碳化鎢Jian端(duan)，用于高(gao)溫測試應用。 這些Jian端(duan)的額(e)定溫度超過1000°C，可提(ti)供各種(zhong)Jian端(duan)幾何形狀(zhuang)。這些Jian端(duan)還具有高(gao)導電性，因此適用于原位和環境(jing)實驗。

聚合物的應變率靈敏度
聚合(he)物(wu)的(de)(de)彈性(xing)形(xing)(xing)變通(tong)(tong)常(chang)表(biao)現(xian)出時(shi)間依賴性(xing)。此外，聚合(he)物(wu)通(tong)(tong)常(chang)具有隨時(shi)間變化的(de)(de)塑性(xing)變形(xing)(xing)，即蠕變。 納米力學公司的(de)(de)儀器*通(tong)(tong)過應(ying)用應(ying)變率和測(ce)量施加的(de)(de)壓(ya)力來表(biao)征聚合(he)物(wu)和其他材(cai)料的(de)(de)蠕變。 這些測(ce)試(shi)的(de)(de)信息對塑料加工中的(de)(de)成(cheng)形(xing)(xing)性(xing)和擠出過程非常(chang)有用。

連續(xu)剛度測(ce)量(CSM)

? 在壓(ya)痕周期內測量剛度和(he)其(qi)他材料性能(neng)CSM選項包括在壓(ya)入過程中(zhong)使探頭振蕩(dang)，測量結果表征為深(shen)度，力，時間或頻率(lv)的函數。該選件隨(sui)(sui)附一(yi)個恒(heng)定應變率(lv)實(shi)驗(yan)，該實(shi)驗(yan)測量硬度和(he)模量隨(sui)(sui)深(shen)度或載荷(he)的變化，這(zhe)是(shi)整(zheng)個學術界和(he)工業界常用的測試方法。

NanoBlitz 3D快(kuai)速機械(xie)性(xing)能映射

? 快速定量地(di)繪制表面機械性能

? 由于增加了(le)觀(guan)察數，因此提供(gong)了(le)具有統計意義的(de)結果

? 測量粗(cu)糙(cao)表面和/或異質材料

NanoBlitz 3D選件根據x-y位(wei)置測量彈性模(mo)量和硬度，在(zai)短時間內生(sheng)成(cheng)數(shu)千個數(shu)據點。定量數(shu)據與強大的(de)可(ke)視化(hua)技術相結合，以評估微觀結構和機械(xie)性能梯度的(de)差異。

國際標準化的納米壓痕測試 iNano高精度臺式納米壓痕儀符合國際認可的納米壓痕機械測試ISO 14577標準(zhun)。

ISO 14577標準化硬(ying)度和彈(dan)性模(mo)量測試

來(lai)自Nanomechanics的iNano和iMicro納米壓痕儀(yi)符(fu)合ISO 14577標準化硬度(du)測(ce)試。  作為參考，一些測(ce)量(liang)的壓痕彈性模(mo)量(liang)對(dui)照圖(tu)中右側彈性模(mo)量(liang)的傳統測(ce)量(liang)值(zhi)繪制，適(shi)用于(yu)從聚合物(wu)到(dao)金屬到(dao)剛性陶瓷的各種材料。

生物相容性材料的復合剪切模(mo)量

本應(ying)用說明(ming)演示了iNano納(na)米(mi)壓痕儀(yi)如何用于測(ce)試生物材料，并解(jie)釋了此(ci)類測(ce)試所需的(de)特硬件，程序和(he)分析。 可食用明(ming)膠用于該演示，因為它具有與(yu)組織相當的(de)性質，可容易獲取并且制(zhi)備方法是可控和(he)可重復的(de)。

循環壓痕測試

除了作(zuo)為深度(du)函數的(de)屬(shu)性(xing)的(de)動(dong)態測量(liang)之外(wai)，Nanomechanics還提(ti)供執行(xing)循(xun)環(huan)壓(ya)痕(hen)測試的(de)能力(li)。 我們的(de)優勢是速度(du)，精度(du)和準確性(xing)。 圖(tu)中所示的(de)每個加(jia)載 - 卸載循(xun)環(huan)在(zai)4秒內完成，從而(er)有效地測量(liang)彈(dan)性(xing)模量(liang)和硬(ying)度(du)。

微球的(de)納米(mi)力學測試：顆(ke)粒壓碎(sui)應用

微球(qiu)(qiu)在現代生活中(zhong)(zhong)(zhong)有著無數的(de)用(yong)(yong)途。 中(zhong)(zhong)(zhong)空微球(qiu)(qiu)用(yong)(yong)于降(jiang)低制造(zao)材料的(de)密(mi)度。 在現代液相色譜中(zhong)(zhong)(zhong)，分(fen)析(xi)物(wu)被迫通過(guo)填充有玻璃微球(qiu)(qiu)的(de)柱，從而使(shi)分(fen)析(xi)物(wu)的(de)組分(fen)基于它們可(ke)以通過(guo)柱的(de)速度而分(fen)離。 在電子(zi)封裝(zhuang)中(zhong)(zhong)(zhong)，金(jin)屬化聚合物(wu)微球(qiu)(qiu)被包裝(zhuang)在一(yi)起以形成靈(ling)活，可(ke)靠的(de)連接。 在這(zhe)項工作中(zhong)(zhong)(zhong)測試的(de)玻璃微球(qiu)(qiu)被摻(chan)入油漆中(zhong)(zhong)(zhong)以增強(qiang)外觀和耐擦(ca)傷性(xing)。 在所有這(zhe)些應用(yong)(yong)中(zhong)(zhong)(zhong)，了(le)解微球(qiu)(qiu)的(de)機械性(xing)質是(shi)設計的(de)關(guan)鍵方面。 通過(guo)硬件和測程序的(de)相對較小的(de)變化，InForce 50成為一(yi)般的(de)小型壓縮測試系統。

薄膜：基板立彈(dan)性模量測量

了解薄膜(mo)(mo)的(de)機械性能(neng)對于設(she)計可靠的(de)部件(jian)非常重要。 無論您是在硬(ying)質基(ji)(ji)材(cai)上(shang)使(shi)用(yong)軟膜(mo)(mo)，還是在柔性基(ji)(ji)材(cai)上(shang)使(shi)用(yong)硬(ying)膜(mo)(mo)，Nanomechanics都擁有使(shi)用(yong)壓痕(hen)測(ce)試(shi)，表(biao)征基(ji)(ji)材(cai)立彈性模量的(de)測(ce)試(shi)方法(fa)。 此外，我們(men)通過提供低于20nm厚度的(de)數據在某(mou)些情況下(xia)小于10nm，推動薄膜(mo)(mo)測(ce)試(shi)的(de)極限。

薄膜：基板立彈性(xing)模(mo)量(liang)測量(liang)

了(le)解(jie)薄膜(mo)(mo)的(de)機(ji)械(xie)性能對(dui)于(yu)(yu)(yu)設(she)計可靠的(de)部件(jian)非(fei)常重(zhong)要。 無論您(nin)是在硬(ying)質基(ji)(ji)材上使(shi)用軟膜(mo)(mo)，還是在柔性基(ji)(ji)材上使(shi)用硬(ying)膜(mo)(mo)，Nanomechanics都擁有使(shi)用壓痕測(ce)(ce)試，表征基(ji)(ji)材立彈性模量的(de)測(ce)(ce)試方法。 此外，我們(men)通過提供低于(yu)(yu)(yu)20nm厚(hou)度(du)的(de)數據(ju)在某些(xie)情況下小于(yu)(yu)(yu)10nm，推動薄膜(mo)(mo)測(ce)(ce)試的(de)極限。

AccuFilm™薄(bo)膜方案

? 通過校正(zheng)基材對(dui)測(ce)量的影響(xiang)，可(ke)以(yi)表征超薄(bo)膜(mo)(mo)(mo)AccuFilm薄(bo)膜(mo)(mo)(mo)方法選(xuan)件是一種測(ce)試方法包，帶有(you)專(zhuan)用壓頭，用于(yu)使(shi)用CS模塊測(ce)量與基材無(wu)關(guan)的材料特性(xing)。AccuFilm使(shi)用Hay-Crawford模型校正(zheng)基材的影響(xiang)，以(yi)測(ce)量軟(ruan)(ruan)基材上(shang)的硬(ying)膜(mo)(mo)(mo)或硬(ying)基材上(shang)的軟(ruan)(ruan)膜(mo)(mo)(mo)。

劃痕和磨損測試方法

? 當(dang)壓頭在樣品表(biao)面上移動時，向(xiang)壓頭施(shi)加恒(heng)定或傾(qing)斜的載荷涂層和(he)薄(bo)膜要經(jing)歷許多(duo)挑戰薄(bo)膜強度及其與基材粘合性(xing)的過程，例如(ru)(ru)化學機械(xie)拋光(guang)（CMP）和(he)引線鍵合。劃(hua)痕測試允(yun)許表(biao)征多(duo)種材料，例如(ru)(ru)薄(bo)膜，脆性(xing)陶瓷和(he)聚合物。

ProbeDMA™局部動態(tai)力學分析(xi)

? 對具(ju)有不適合(he)標準DMA測(ce)試(shi)的(de)(de)(de)樣(yang)品(pin)幾何形狀和/或材料體積的(de)(de)(de)軟聚合(he)物和其(qi)他材料進行動態機械分析（DMA）ProbeDMA選(xuan)(xuan)件通過測(ce)量(liang)存儲模量(liang)，損耗(hao)模量(liang)和損耗(hao)因子隨頻率(lv)的(de)(de)(de)變(bian)化，將納米壓頭轉變(bian)為(wei)局部動態力學分析儀(yi)器。ProbeDMA利用CSM模塊和iNano執行器的(de)(de)(de)精度來(lai)提供與(yu)傳統DMA測(ce)試(shi)相匹配的(de)(de)(de)定量(liang)結果(guo)。它與(yu)300°C的(de)(de)(de)樣(yang)品(pin)加熱(re)選(xuan)(xuan)項*兼容，如下所述：

300°C 樣品(pin)(pin)加(jia)(jia)熱300°C樣品(pin)(pin)加(jia)(jia)熱選件(jian)允許(xu)將樣品(pin)(pin)放置在(zai)室內進行(xing)均勻加(jia)(jia)熱，同時(shi)進行(xing)測試。

更好的理解水平

iNano提供的(de)總的(de)客戶體驗不只是(shi)規格列表。 對(dui)于(yu)易于(yu)使用的(de)軟件(jian)和(he)可靠(kao)的(de)硬件(jian)，以提供行業頂尖(jian)的(de)客戶服務和(he)正常運行時間，iNano提供了強(qiang)大，直接，無(wu)憂的(de)解決方案。