Zeta-20 三維光學輪廓儀的典型應用：

•MEMS（微機(ji)電(dian)系(xi)統）

•光伏太陽(yang)能(neng)電池

•微流(liu)體設備

•數(shu)據(ju)存儲磁盤倒邊

•激光打孔

•半導體(ti)晶(jing)圓級芯片級封裝(zhuang)

多功能光學測試模組

•*ZDot點陣(zhen)三(san)維成(cheng)像技術與(yu)強大的(de)算(suan)法(fa)相(xiang)結合，輕易獲得各種樣品表面信息生(sheng)成(cheng)高(gao)分辨率(lv) 3D 數據。

•ZIC 干涉反襯成像技(ji)術，實現納(na)米級粗糙度表(biao)面的(de)成像及(ji)分析(xi)。

•ZSI 白光差分干涉(she)技術，垂直(zhi)方向分辨率可達埃級。

•ZX5 白光干涉(she)技(ji)術(shu)，大視場下納米級(ji)高度的理(li)想測量技(ji)術(shu)。

•ZFT 反(fan)射(she)光譜膜厚分析技術，集(ji)成寬頻(pin)反(fan)射(she)光譜分析儀，可測(ce)量 薄膜材料的(de)厚度(du)、折射(she)率和反(fan)射(she)率。

Zeta-20三維光學輪廓儀優點：

•多(duo)(duo)功(gong)能——能夠在任何表面上(shang)進行多(duo)(duo)次(ci)測量

•特定應用軟件和(he)算法

•對振動和樣品傾斜不敏(min)感

•高光通量(liang)設(she)計——實現其他系統無法進行的(de)測(ce)量(liang)

•易于(yu)使用——用戶可(ke)以快速啟動和運行

混合反(fan)射率(lv)(lv)表(biao)面測量(liang)：在太陽能電池表(biao)面氮(dan)化物涂層上的銀。銀反(fan)射率(lv)(lv)大(da)于90%，氮(dan)化物反(fan)射率(lv)(lv)小于1%，兩者(zhe)反(fan)射率(lv)(lv)差非常大(da)，Zeta-20高動態范圍可(ke)輕松測量(liang)混合反(fan)射率(lv)(lv)表(biao)面。

在微機電系(xi)統上進行(xing)亞微米級臺階(jie)高度(du)測量(liang)：可實現大面積(ji)高分(fen)辨率測量(liang)。

分析防偽透明特征：可在(zai)混合、不(bu)平整的表面上進行準確的 3D 輪廓分析（圖中是人民幣20元防偽標志）

光刻膠和(he)金屬(shu)的(de)臺(tai)階測量：ZDot 的(de)多模式(shi)*地實現(xian)了金屬(shu)臺(tai)階和(he)薄膜厚(hou)度的(de)同時測量。

激光(guang)切割(ge)(ge)：測量(liang) LED 設備上激光(guang)切割(ge)(ge)的深度(du)。在非常低的對比度(du)，高粗糙度(du)的表面測量(liang)。 測量(liang)空腔邊(bian)緣(yuan)的材料堆積，以確定它是否(fou)已流(liu)出劃線區域并流(liu)入 LED 器件的有源 區域。