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P-170是cassette-to-cassette探針式輪廓儀(yi)(yi)，將P-17臺式系統(tong)的測量(liang)性能和經過(guo)生產驗證的HRP®-260的機械傳送臂相(xiang)結(jie)合(he)(he)。 這樣的組合(he)(he)為機械傳送臂系統(tong)提供(gong)了低成本(ben)，適用于半導體(ti)，化(hua)合(he)(he)物半導體(ti)和相(xiang)關行(xing)業(ye)。 P-170全自動晶圓探針式輪廓儀(yi)(yi)/臺階儀(yi)(yi)可以對臺階高度、粗(cu)糙度、翹曲度和應力進行(xing)2D和3D測量(liang)，其(qi)掃描可達200mm而無需圖(tu)像拼接(jie)。

自動晶圓探針(zhen)式(shi)輪廓(kuo)儀/臺(tai)階儀P17。該系統支持對臺(tai)階高(gao)度(du)、粗糙(cao)度(du)、翹曲度(du)和應力2D和3D測(ce)量，掃描可達200mm無需圖像(xiang)拼(pin)接(jie)。結合UltraLite®傳感(gan)器、恒力控制和超(chao)平(ping)(ping)掃描平(ping)(ping)臺(tai)，有出色(se)測(ce)量穩定(ding)性。

P-7晶圓探(tan)針式(shi)輪廓儀(yi)/臺階儀(yi)保持了P-17技術(shu)的(de)(de)測(ce)量性(xing)(xing)能，并(bing)作(zuo)為臺式(shi)探(tan)針輪廓儀(yi)平臺提供(gong)了好的(de)(de)性(xing)(xing)價(jia)比(bi)。 P-7可(ke)以對臺階高(gao)度、粗糙度、翹曲度和應(ying)力進(jin)行(xing)2D和3D測(ce)量，其掃描可(ke)達(da)150mm而無需(xu)圖像拼接。從可(ke)靠性(xing)(xing)表現來看， P-7具有較好的(de)(de)測(ce)量重(zhong)復性(xing)(xing)。

KLA*的探針(zhen)式臺(tai)階(jie)儀Alpha-Step D-600，帶有(you)電動載物臺(tai)。可(ke)(ke)測量納米(mi)級至1200um臺(tai)階(jie)高(gao)(gao)度，并可(ke)(ke)分(fen)析(xi)薄膜(mo)表面粗糙度、波紋(wen)度、應力。且其具有(you)5.0A (1σ)或0.1%臺(tai)階(jie)高(gao)(gao)度重復性以及亞埃級的分(fen)辨(bian)率。這種(zhong)Alpha-Step高(gao)(gao)精(jing)度臺(tai)階(jie)儀/輪(lun)廓(kuo)儀有(you)著可(ke)(ke)選的3D輪(lun)廓(kuo)分(fen)析(xi)功能。