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晶(jing)圓(yuan)(yuan)翹(qiao)曲應力測量儀具備三(san)維(wei)翹(qiao)曲（平整度）及薄(bo)膜應力的檢測功能，適(shi)用(yong)于半導體晶(jing)圓(yuan)(yuan)生(sheng)產、半導體制程工藝開發、玻璃及陶(tao)瓷(ci)晶(jing)圓(yuan)(yuan)生(sheng)產

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