Strain Viewer 內應力檢測儀

優勢

√ 基于雙折(zhe)射應力測量模型實現應力瞬時(shi)測量，顯示應力二維分布(bu)偽(wei)彩圖

√ 采用(yong)雙遠心檢測光路，相位延遲(chi)測量精(jing)度高

√ 根據不同測量視場(chang)要求，多種鏡頭可選

√ 訂制化樣品托盤，適應(ying)不(bu)同規格(ge)晶圓批量測試

適用對象(xiang)

適用于(yu)三(san)代化合物晶圓片、玻(bo)璃晶圓片、精密(mi)光學(xue)元件(jian)（平晶，棱鏡(jing)，波片，透鏡(jing)等）的(de)內應力(li)檢(jian)測

適(shi)用領域

面向化合(he)物晶(jing)圓生(sheng)產、光學精密加工等(deng)行(xing)業

檢測(ce)原(yuan)理(li)

√ 基于(yu)偏振光(guang)應(ying)力(li)雙折射效應(ying)檢測晶(jing)圓材(cai)料內(nei)部(bu)應(ying)力(li)分布。當晶(jing)體材(cai)料由于(yu)內(nei)部(bu)缺陷存在應(ying)力(li)集中時會導致應(ying)力(li)雙折射效應(ying)，偏振(zhen)(zhen)光透(tou)過它時會發生偏振(zhen)(zhen)態調(diao)制，通過測(ce)量透(tou)射光的(de)斯托克斯矢量可以推算??材(cai)料的(de)應(ying)力(li)延(yan)遲量，從而(er)得(de)到材(cai)料內應(ying)力(li)分布；

√ 可同步集成晶圓表面缺陷(xian)暗場檢測和尺寸量測。

實測案(an)例

Strain Viewer技(ji)術(shu)規格