自由曲面三維面型檢測儀

優勢

√ 對各種自由(you)曲面光學元件的表面進行非(fei)接觸全口徑(jing)測量

√ 簡單(dan)、精確、快速(su)、可重復的測量(liang)方式，表面無需噴(pen)粉處理

√ 自(zi)動(dong)完成數據比(bi)對分(fen)析誤差，完善的三(san)維分(fen)析功能

測量功能

√ 三(san)維面型數據(ju)測量

√ 面型逆向分析

√ 面型(xing)輪廓精度評(ping)價

適用對象

自由曲面(mian)反射鏡、曲面(mian)蓋板玻璃(li)、精密模具、玻璃(li)面(mian)板、透(tou)鏡、微透(tou)鏡陣列、 晶圓(yuan)片等(deng)

測量原理

自由曲面(mian)三維面(mian)型檢(jian)測儀√ 結構(gou)光(guang)反(fan)射三維重構(gou)原理： 多相(xiang)機拍攝經被測鏡面反射的變形的結構光圖案，通過(guo)重構算(suan)法計算(suan)被測鏡面(mian)的三維面(mian)型，通過與理想面(mian)型數(shu)據進行比對，獲得自由曲面(mian)的面(mian)型誤(wu)差分(fen)布和其它分(fen)析數據

√ 采用優化系統(tong)結(jie)構設計、高(gao)精度標(biao)定方法(fa)和(he)*的重構算法(fa)實現高(gao)測量(liang)精度

從600mm口(kou)徑的大反(fan)射鏡，到1mm口(kou)徑的微透鏡陣列，自由曲面(mian)測(ce)量(liang)系統提供全面(mian)的面(mian)型測(ce)量(liang)能力。

測量分析軟件

具有豐富(fu)分析功(gong)能同時易(yi)用性強的三維測量(liang)分析軟件，包括： 三(san)維輪廓(kuo)誤差(cha) PV、RMS、表面瑕疵、曲(qu)率(lv)、斜率(lv)、尺(chi)寸分(fen)析(xi)、各種(zhong)多項式擬合、空間濾(lv)波和各類數據導出

自由曲面三維面型檢測儀