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離子(zi)束沉(chen)積作為納米結構(gou)的(de)(de)基(ji)本組成單元，團(tuan)簇(cu)或納米顆粒在(zai)納米科學中具有關鍵的(de)(de)地位。我們設計研制了(le)兩(liang)套氣(qi)體(ti)聚集(ji)(ji)型(xing)團(tuan)簇(cu)源：基(ji)于(yu)熱蒸發的(de)(de)氣(qi)體(ti)聚集(ji)(ji)團(tuan)簇(cu)束流(liu)源和(he)磁(ci)控(kong)等離子(zi)體(ti)聚集(ji)(ji)型(xing)團(tuan)簇(cu)源。以團(tuan)簇(cu)源為中心構(gou)成了(le)團(tuan)簇(cu)束流(liu)實驗和(he)沉(chen)積系統。

作為納(na)米(mi)結構的(de)基本組成(cheng)單(dan)元，團(tuan)簇(cu)或納(na)米(mi)顆(ke)粒在納(na)米(mi)科學中具(ju)有關(guan)鍵的(de)地位。我們設計研制了(le)兩套氣體聚集型(xing)團(tuan)簇(cu)源：基于熱蒸發的(de)氣體聚集團(tuan)簇(cu)束(shu)流(liu)源和(he)磁控等離子體聚集型(xing)團(tuan)簇(cu)源。以團(tuan)簇(cu)源為中心構成(cheng)了(le)團(tuan)簇(cu)束(shu)流(liu)實驗和(he)沉積系(xi)統。