日(ri)本Kosaka輪廓儀（臺階儀）

日本Kosaka株式會社于(yu)1950年成(cheng)立(li)，專業生產、開發(fa)和銷售各種精密測(ce)試儀(yi)器、液(ye)壓設備、自動機械和包裝機械等產品。公(gong)司于1950年推出其*個產品，SD-1表面粗糙分析儀。從此，在隨(sui)后的五十多年，產品不斷完善和更新(xin)，Kosaka公(gong)司的精密分(fen)析儀器始終是行業里的者。

ET4000臺階(jie)儀(yi)介紹：

     日本Kosaka輪廓儀（臺階儀）ET4000是Kosaka公司推出(chu)的全自動接觸式微細形狀測(ce)定儀，具有高(gao)精確性、穩定性和重復(fu)性，可測(ce)量FPD、晶片、磁盤，和與納米材料相關物件的表面特性、臺階高度和粗糙度等。堅固的花崗巖材料鑄成的機身框架以及支撐部件顯著提高了儀器的重復精度，并降低了地板噪音對測量的干擾。ET4000為滿足用(yong)戶不同(tong)應用(yong)方向的(de)(de)需要提(ti)供了(le)多(duo)種可(ke)選(xuan)(xuan)配置，通(tong)過選(xuan)(xuan)配三維成像附件(jian)套裝還可(ke)以*地擴充儀器的(de)(de)功能。

日本Kosaka輪廓儀（臺階儀）主要參數：

儀器特點：

l 具有的臺階高度重復性5? （1σ）和線性(xing)度（垂直線性(xing)度：200nm以上為±0.25%；200nm以下為0.5nm）。

l 高分辨率，縱軸zui大分辨率為0.1nm，橫軸為0.01μm，可精確測量納米級(ji)至幾百微米(mi)級臺階高度。

l 超高直線度(du)： 0.005μm/5mm，可測(ce)定微細表面形狀、段差、平面度(du)、粗度(du)、應力分(fen)析等(deng)。

l 低測定力：采用直動力LVDT檢出器(qi)，觸(chu)針力在0.5μN～500μN范(fan)圍(wei)可(ke)以(yi)任意(yi)調節，可(ke)測定軟質材料。

特點：? 

出色的臺階(jie)再現(xian)性與線性度(du)。? 

超高真直(zhi)度(du)，可(ke)確保(bao)量測圖(tu)形不(bu)受任何(he)影響，并可(ke)在保(bao)證真直(zhi)度(du)的前提下長距離量測。? 

采用(yong)超(chao)低(di)噪音直動(dong)式 LVDT，超(chao)低(di)測定(ding)力(li)的觸針可任意調節。? 

配備(bei)高分辨率(lv)的(de) CCD 即時進行高精度定(ding)位(wei)測量。? 

可對(dui)應(ying)各種國際規范，測定參數(shu)多達 60 多種。? 

適用于各種與(yu)納米材料有關的 MEMS、光(guang)電子(zi)、精加工表面、生物醫學器件、薄膜/化(hua)學涂(tu)層以及平板顯示等(deng)。