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Lumina AT1光學表面(mian)缺陷分析儀可對玻璃(li)、半導體及光電子材(cai)料進行表面(mian)檢測(ce)(ce)。Lumina AT1既能夠檢測(ce)(ce)SiC、GaN、藍寶(bao)石和玻璃(li)等透明材(cai)料，又能對Si、砷化(hua)鎵、磷化(hua)銦等不透明基板進行檢測(ce)(ce)，其(qi)價(jia)格(ge)優勢使其(qi)成為適合于(yu)研發/小批量生產過程中品質管理及良率改(gai)善(shan)的有力工(gong)具。