掃描器

3x3x1um （ ± 10%）; 10x10x2um（ ± 10%）; 50x50x3 um （ ± 10%）

zui小掃描步長

0.0004 nm; 0.0011 nm; 0.006 nm

掃描類型

樣品掃描式

SPM頭部

AFM

STM:

30pA - 50nA, 4 p時(shi)的ARMS 噪(zao)音 （標準的前置放大器）,

10pA - 5nA, 1.5 p時(shi)的(de)ARMS噪音 （低電流前置放大器）

剪切力

光學觀察系統

數值孔徑 0.1

放大倍數(shu)58x to 578x

水平視(shi)野(ye) 5,1~ 0,51mm

控制系統

SPM 控制箱

振動隔離系統

集成有被動隔離系統

如果需要(yao)也可用主(zhu)動隔離系(xi)統

掃描熱學顯微鏡操作模式：

1.合理的(de)操作模(mo)式：

a. 擴展電(dian)阻成(cheng)像：這個模式在(zai)表(biao)征半導(dao)體的(de)應用中非常(chang)有用，因為在(zai)該模式下，我(wo)們可(ke)以利用W2C 或TiO涂層的(de)硅懸臂來測得樣品上某一點(dian)的(de)導(dao)電(dian)率(lv)，然后和該點(dian)的(de)表(biao)明形貌進行比較。

b.  粘附力(li)模式：在掃描過程中，可以同時得到力(li)－距離曲線和力(li)的值。

c.  剪切(qie)力模(mo)式：可以(yi)用來(lai)實現SNOW系統。

d. SKM對半導(dao)體表面(mian)成分(fen)分(fen)析十(shi)分(fen)有用。

e. RM和電(dian)壓(ya)刻蝕：利用這(zhe)兩個模式(shi)可以在納米尺度實(shi)現機(ji)械(xie)和電(dian)壓(ya)表面修飾(shi)。

2.集成測量頭

在一次掃描過程中，可以(yi)同時得到4種不同的(de)信息。

掃描器

NT-MDT提供一(yi)套用于校(xiao)正的標準光柵(zha)（6片），用其進(jin)行掃描器的校(xiao)正和針尖質量的控制(zhi)。。

樣品大小

大樣品也可(ke)以進(jin)行測量。

光學觀測系統

多樣的光學觀測系(xi)統配置(zhi)可(ke)以*客戶的需求。

針尖與樣品的驅近

1. 驅(qu)(qu)近系統(tong)的機(ji)械(xie)設計(ji)可使得(de)(de)經過幾(ji)次驅(qu)(qu)近之后(hou)仍然能獲得(de)(de)相(xiang)同的檢測區域。掃描位移大約為500nm，這(zhe)個特點可以讓您在(zai)幾(ji)周內仍然能夠研究相(xiang)同的樣品區域。

2. 在(zai)完成(cheng)驅近之后，可(ke)以對所要檢測的區域(yu)進行自動掃描，因此實驗人員只需很短的時間便可(ke)以在(zai)SPM上獲得檢測結果。

3. 允許手動(dong)驅(qu)近。

電子學

每個軸（X,Y和(he)Z）通過2個16位DAC來實現(xian)22位的(de)掃描(miao)精度(du)，再加上極低的(de)系統噪音(yin)，所以Solver使用50mm的(de)掃描(miao)器也能實現(xian)原子(zi)級分辨率(lv)。

計算機

我們(men)的(de)顯微鏡可以在(zai)任何(he)兼(jian)容計算機機上進行操作。如果您(nin)不想購(gou)買額外的(de)計算機，那(nei)么您(nin)還可以將這臺用于SPM的(de)計算機用于其他用途。

軟件

多樣的圖像(xiang)處理方法；

圖像(xiang)處理軟件可(ke)以在網站免費下載(zai)；

可(ke)以處理DI,PSI, Topometrix和其他SPM廠家的數據文件樣(yang)本(ben)；

可以(yi)根據用戶需要(yao)來定制軟(ruan)件。

隔震系統

在通(tong)常的實(shi)驗(yan)室中，不需要增加額(e)外(wai)的隔震系統（在通(tong)常的實(shi)驗(yan)室環(huan)境下就(jiu)可以得到(dao)原(yuan)子(zi)級(ji)圖像）。

其他優點

鈦合(he)金結構和*的(de)SPM測量(liang)系統設計提(ti)供了(le)(le)zui低的(de)熱漂移，讓(rang)您可以打開(kai)系統之后(hou)馬上就可以開(kai)始(shi)測量(liang)了(le)(le)。

在這方面，NT-MDT盡全力滿足客戶的期望(wang)。